Masjid ini didirikan pertama kali oleh Raden Tumenggung (RT) Jayeng Tirtonoto pada tahun 1774. Di masa ini masjid belum memiliki mimbar khotib. Barulah di tahun 1791, atau 17 tahun setelah didirikan, Bupati RT Tirto Kusumo membuat mimbar tempat imam memberi khotbah dengan tanda angka 1718 atau tahun Walandi 1791. Menyesuaikan perkembangan jaman, di masa pemerintahan Bupati RT Tirtonegoro yang memerintah pada tahun 1823 hingga 1842 dan dilanjutkan tahun 1843 hingga 1847, masjid dipugar dari bangunan kayu ke bangunan tembok. Pengerjaannya dikerjakan pada tahun 1846. Inilah pemugaran pertama setelah 71 tahun masjid berdiri.
